Author: Александр Запевалин

Author's name: Запевалин Александр

Author's website: http://vk.com/id7667329

Articles of the author in journal «Modern scientific researches and innovations»

Обзор газовой химии используемой для плазмохимического травления Si, SiO2 и Si3N4

№ 6 June 2014 | Category: 01.00.00 Physics and mathematics

Обзор газовой химии для сухого травления полупроводниковых соединений

№ 6 June 2014 | Category: 02.00.00 Chemistry

Articles of the author in journal «Modern Technics and Technologies»

Zapevalin A.I. Lag effects in the plasma etching of silicon

June, 2014

Zapevalin A.I. An overview of high-Aspect process silicon etching

June, 2014