Автор: Александр Запевалин
ФИО автора: Запевалин Александр
Сайт автора: http://vk.com/id7667329
Запевалин А.И. Обзор газовой химии используемой для плазмохимического травления Si, SiO2 и Si3N4Июнь, 2014
Запевалин А.И. Обзор газовой химии для сухого травления полупроводниковых соединений
Июнь, 2014