ISSN 2223-4888
18+
Русский
English
Электронный научно-практический журнал «Современные научные исследования и инновации»
Авторам
Войти
Отправить свою статью в редакцию
Требования к оформлению статей
Способы оплаты
О журнале
О журнале
Контактная информация
Архив номеров
Рубрики и языки публикаций
Поиск
Отзывы о проекте
Статьи по ключевому слову «anisotropy»
Статьи в журнале «Современные научные исследования и инновации»
Запевалин А.И. Обзор газовой химии используемой для плазмохимического травления Si, SiO2 и Si3N4
№ 6 Июнь 2014 | Рубрика:
01.00.00 ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ