Статьи по ключевому слову «микроэлектромеханическая система»
Статьи в журнале «Современные научные исследования и инновации»
Белозубов Е.М., Белозубова Н.Е., Васильев В.А., Козлова Ю.А. Метод уменьшения температурной погрешности в микроэлектромеханической системе датчикаДекабрь, 2011