Основой решения этой задачи являются исследования электрических разрядов с испаряемым в вакууме электродом. Все известные разряды с испаряемым в вакууме электродом делятся на самостоятельные и несамостоятельные. В зависимости от вида электрического разряда с испаряемым в вакууме электродом, существуют следующие разновидности вакуумно-плазменной технологии обработки поверхностей деталей машин и механизмов: катодное, магнетронное, высокочастотное и в несамостоятельном газовом разряде. Развитие вакуумно-плазменной технологии обработки поверхностей деталей машин механизмов, микроэлектроники, электрометаллургии, плазмохимии, и других новейших направлений научно-технического прогресса способствовало созданию устройств для получения плазмы твердых тел. Примером промышленного применения вакуумно-плазменных технологий для повышения эксплутационных свойств деталей машин и механизмов, являются:

1. Высокопроизводительная опытно-промышленная вакуумно – плазменная установка для осаждения износостойких алмазоподобных пленок (АПП).

2. Роботизированный комплекс (РТК) предназначен для нанесения покрытий (теплозащитных, износостойких, высокотемпературных, жаростойких, эрозионностойких). Применение вакуумно-плазменных технологий обработки поверхностей деталей машин и механизмов позволило использовать для специальных целей в машиностроении и химической промышленности обычные конструкционные стали и чугуны.

Вакуумно – плазменные технологии обработки деталей машин и механизмов способствует:

1. повышению износостойкости изделий машиностроения и увеличение сроков службы деталей механизмов, работающих в сложных условиях (сопла реактивных двигателей, лопатки турбин, кристаллизаторы, коленчатые валы);

2. уменьшению в несколько раз коррозионных потерь;

3. созданию новых композиционных материалов;

4. получению веществ, не существующих в окружающей природе;

5. разработке новых элементов памяти вычислительных машин, СВЧ-устройств, полупроводниковых приборов интегральных схем.

Изучение физических свойств плазмы позволяет, с одной стороны, решать многие проблемы астрофизики, поскольку в космическом пространстве плаза – наиболее распространенное состояние вещества, а с другой – открывает принципиальные возможности осуществления управляемого термоядерного синтеза.