Статьи по ключевому слову «gas chemistry for etching»

Статьи в журнале «Современные научные исследования и инновации»

Запевалин А.И. Обзор газовой химии используемой для плазмохимического травления Si, SiO2 и Si3N4

№ 6 Июнь 2014 | Рубрика: 01.00.00 ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ